技術サービス・メンテナンス事業

各種生産設備の移設・立上業務(立下げ・撤去解体)

  • 半導体製造装置の移設・立上
  • 装置の調整業務

各種生産設備の修理・改造業務

  • 半導体製造装置の修理・改造
    各種生産設備の調整・メンテナンス業務
    • 半導体製造装置の定期メンテナンス
    • 部品のオーバーホール
    • コンタミネーションコントロール

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